Baca dalam 3 menit

China Mulai Litbang Mesin Litografi

Waktu Publish : 03 Nov 2021, 17:24 WIB
Sumber : QQ.com
SHARE ARTIKEL

China Putuskan Untuk Mulai Penelitian Dan Pengembangan Mesin Litografi - Image from 百度

Shanghai, Bolong.id - Institut Optik dan Mekanika Changchun, Mikroelektronik Shanghai, dan Universitas Tsinghua memaparkan kemajuan mesin litografi (lithografi).

Dilansir dalam QQ.com pada (3/11/2021), sebagai peralatan inti untuk pembuatan chip, mesin litografi berfungsi mencetak pola halus melalui paparan cahaya.

Teknologi ini adalah salah satu teknologi teratas di dunia, hanya dikendalikan oleh beberapa negara atau perusahaan papan atas, dan peralatan inti dari mesin litografi adalah mesin eksposur, dan biayanya sekitar 30 juta AS Dolar (Rp 429 Miliar) hingga 500 juta dolar AS (Rp 7 Triliun).

Pada 27 Oktober 2021, Media jaringan Tiongkok melaporkan: Institut Optik dan Mekanik Changchun menerobos komponen kunci mesin litografi untuk mencapai lompatan pengembangan teknologi optik ultra-presisi Tiongkok.

Empat proyek inti mesin litografi pada dasarnya telah berhasil dicapai, hal ini berarti Tiongkok semakin dekat untuk memiliki mesin litografi canggih sendiri.

Bagaimana lensa objektif proyeksi optik ultra-presisi "pemecah es" dari Changchun Optoelectronics Technology Co., Ltd. memberikan dorongan khusus untuk bisnis mesin litografi Tiongkok dan Bagaimana melihat pencapaiannya?

Untuk itu harus memahami "tujuan proyeksi optik (optical projection objective)". Kontradiksi antara batasan spesifikasi built-in chip berbasis silikon dan peningkatan kinerja di bawah Hukum Moore, dan peningkatan jumlah kristal silikon dengan mengedepankan persyaratan proses yang lebih tinggi untuk peralatan mesin litografi, dan pentingnya lensa dalam menentukan keakuratan proses litografi.

Sudah menjadi barang inti (Hukum Moore menyatakan bahwa jumlah transistor pada microchip berlipat ganda setiap dua tahun, meskipun biaya komputer berkurang setengahnya. Pada tahun 1965, Gordon E. Moore, salah satu pendiri Intel, membuat pengamatan ini yang kemudian dikenal sebagai Hukum Moore).

Resolusi litografi menjadi kelangsungan hidup yang paling tepat terus meningkat. Struktur tujuan proyeksi juga terus disesuaikan.

Kini tidak ada negara yang secara mandiri memproduksi mesin litografi EUV. Mesin litografi EUV hampir mencakup keseluruhan IPTEK manusia terbaik di bidang optik, mekanik, instrumen presisi, permesinan, otomatisasi, kimia polimer, dan pengenalan gambar.

Jika Tiongkok ingin membangun mesin litografi EUV sendiri, mereka setidaknya harus menembus iptek, sumber cahaya, lensa objektif proyeksi optik, korektor laser, dan reticle, tabel eksposur dan komponen inti lainnya.

Pada saat yang sama, harus menguasai seluruh proses pembuatan chip dari pembersihan dan pengeringan, pelapisan primer, pelapisan spin photoresist, pemanggangan lunak, paparan pelurusan, pasca pemanggangan, pengembangan, pemanggangan keras, etsa, dll. (*)

Load more
Banner Kanan
Logo follow bolong